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微束斑RHEED类平行束电子枪设计
更新时间：2025-05-30

    • 微束斑RHEED类平行束电子枪设计

    • Design of a quasi-parallel beam electron gun with micro beam spot for Reflection High Energy Electron Diffraction

    • “在微电子制造与表面分析领域，专家研制了微束斑RHEED类平行束电子枪，分析电子光学系统特性，仿真设计低像差聚焦透镜，搭建实验平台进行性能测试，获得清晰的衍射斑点。”
    • 光学精密工程   2025年 页码：1-13
    • 中图分类号： TN16

    • 收稿日期：2025-03-10，

      修回日期：2025-05-15，

      网络出版日期：2025-05-30，

    移动端阅览

  • 赵伟霞,史丽娜,刘俊标等.微束斑RHEED类平行束电子枪设计[J].光学精密工程, DOI：10.37188/OPE.XXXXXXXX.0001 CSTR：32169.14.OPE

    ZHAO Weixia,SHI Lina,LIU Junbiao,et al.Design of a quasi-parallel beam electron gun with micro beam spot for Reflection High Energy Electron Diffraction[J].Optics and Precision Engineering, DOI：10.37188/OPE.XXXXXXXX.0001 CSTR：32169.14.OPE

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