纳米厚度非透明介质薄膜的测量

缪建伟; 崔明启; 唐鄂生; 修立松

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纳米厚度非透明介质薄膜的测量

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 纳米厚度非透明介质薄膜的测量
- Measuring and Calculating the Thickness of Non-transparent Dielectric Thin Film
- 光学精密工程 1994年2卷第1期页码：21-25
- 作者机构：
  
  中国科学院高能物理研究所, 北京 100039
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1993-11-16，
  
  网络出版日期：1994-02-15，
  
  纸质出版日期：1994-02-15
- 稿件说明：
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缪建伟, 崔明启, 唐鄂生, 修立松. 纳米厚度非透明介质薄膜的测量[J]. 光学精密工程, 1994,(1): 21-25

Miao Jianwei, CuiMingqi, Tang Esheng, Xiu Lisong . Measuring and Calculating the Thickness of Non-transparent Dielectric Thin Film[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1994,(1): 21-25
缪建伟, 崔明启, 唐鄂生, 修立松. 纳米厚度非透明介质薄膜的测量[J]. 光学精密工程, 1994,(1): 21-25 DOI：

Miao Jianwei, CuiMingqi, Tang Esheng, Xiu Lisong . Measuring and Calculating the Thickness of Non-transparent Dielectric Thin Film[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1994,(1): 21-25 DOI：

摘要

本文叙述了用椭偏仪多次入射选择最佳法测量纳米厚度非透明薄膜原理及方法

给出了由此方法测量得到的数据和用迭代法(下降法)计算得到的膜厚结果

并与台阶仪测试结果进行了比较。

Abstract

In this paper

we use a new method of measuring and calculating the thickness of non-transparent film with Ellipsometer.It improves the multi-incident angle method putforward by R. M.A.Azzam. With this method two samples have been investigated(film Si on sub-stract BK7).And the results conform with those by Stepmeter.

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