CDMS－1型电视线宽测量仪设计与检测

沈蓓军; 丁生华; 邹海兴; 路敦武; 杨良民

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CDMS－1型电视线宽测量仪设计与检测

论文 | 更新时间：2020-08-12

- CDMS－1型电视线宽测量仪设计与检测
- Design and Test for Model CDMS-1 Video Scanning Linewidth Measurement System
- 光学精密工程 1994年2卷第1期页码：89-94
- 作者机构：
  
  中国科学院上海光学精密机械研究所上海,201800
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1993-01-22，
  
  网络出版日期：1994-02-15，
  
  纸质出版日期：1994-02-15
- 稿件说明：
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沈蓓军, 丁生华, 邹海兴, 路敦武, 杨良民. CDMS－1型电视线宽测量仪设计与检测[J]. 光学精密工程, 1994,(1): 89-94

Shen Beijun, Ding Shenghua, Zou Haixing, Lu Dunwu, Yang Liangmin . Design and Test for Model CDMS-1 Video Scanning Linewidth Measurement System[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1994,(1): 89-94
沈蓓军, 丁生华, 邹海兴, 路敦武, 杨良民. CDMS－1型电视线宽测量仪设计与检测[J]. 光学精密工程, 1994,(1): 89-94 DOI：

Shen Beijun, Ding Shenghua, Zou Haixing, Lu Dunwu, Yang Liangmin . Design and Test for Model CDMS-1 Video Scanning Linewidth Measurement System[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1994,(1): 89-94 DOI：

摘要

本文介绍了中科院上海光机所研制的CDMS-1型电视线宽测量系统设计及检测。线宽测量技术主要用于集成电路生产的在线测量

以及掩模制造中的质量控制

CDMS-1型电视线宽测量仪利用计算机对集成电路图像进行数字处理

从而保证了仪器测量精度。经检测表明该系统的各项测试指标均达到原设计要求。

Abstract

The paper introduces the design and test for Model CDMS-1 Video Scanning LinewidthMeasurement System developped by Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics.Thelinewidth measurement technolog is mainly used in IC manufacture and mask quality control.This instrument gains high acctiracy by using computer digital image processing technology.The test result of this measurement system shows that all expected system specifications are achieved.

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