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中国科学院长春光学精密机械研究所, 长春130021
收稿日期:1994-10-24,
网络出版日期:1995-04-15,
纸质出版日期:1995-04-15
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张景和, 袁雅珍, 阮锦. 激光扫描显微镜中的扫描系统[J]. 光学精密工程, 1995,(2): 62-65
Zhang Jinghe, Ytian Yazen, Ruan Jin. Scanning System Laser Scanning Microscope[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1995,(2): 62-65
张景和, 袁雅珍, 阮锦. 激光扫描显微镜中的扫描系统[J]. 光学精密工程, 1995,(2): 62-65 DOI:
Zhang Jinghe, Ytian Yazen, Ruan Jin. Scanning System Laser Scanning Microscope[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1995,(2): 62-65 DOI:
叙述了扫描系统在激光扫描显微镜中的作用
扫描器的位置调整。推导出由于扫描器位置的变化而引起的光程变化
提出了机械设计要求。
In this paper
the scanning parts of the scanning microscope and its adjustment are described.The relationship between the change in optical path and that in the position of thescanning parts are found and finally the requirement of the mechanical design is given.
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