节流孔特性对抑制气浮工作台自激振动的效果研究

里见忠笃; 章亚男

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节流孔特性对抑制气浮工作台自激振动的效果研究

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 节流孔特性对抑制气浮工作台自激振动的效果研究
- The Effect of Orifice Characteristics on Reducing Self excited Vibration of Aerostatic x-y Stage
- 光学精密工程 1998年6卷第5期页码：33-38
- 作者机构：
  
  1. 东京电机大学
  2. 上海大学精密机械工程系上海,201800
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1998-06-23，
  
  网络出版日期：1998-10-15，
  
  纸质出版日期：1998-10-15
- 稿件说明：
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里见忠笃, 章亚男. 节流孔特性对抑制气浮工作台自激振动的效果研究[J]. 光学精密工程, 1998,(5): 33-38

SATOMI Tadaatsu, ZHANG Ya-Nan. The Effect of Orifice Characteristics on Reducing Self excited Vibration of Aerostatic x-y Stage[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1998,(5): 33-38
里见忠笃, 章亚男. 节流孔特性对抑制气浮工作台自激振动的效果研究[J]. 光学精密工程, 1998,(5): 33-38 DOI：

SATOMI Tadaatsu, ZHANG Ya-Nan. The Effect of Orifice Characteristics on Reducing Self excited Vibration of Aerostatic x-y Stage[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1998,(5): 33-38 DOI：

摘要

以前期研究工作为基础

分析了气浮式工作台由于微小自激振动的产生

而引起其定位精度劣化的内在原因。提出了通过减小节流孔孔径

改变节流孔结构形式等方法来抑制工作台自激振动的技术方案

并对其进行了理论计算和实验验证

结果表明采用这种方法可以取得良好的效果。

Abstract

Based on the previous work

this paper analyses the reason for small self excited vibration of the aerostatic x-y stage

which reduce the positioning accuracy.The technical scheme of controlling self excited vibration of x-y stage is proposed by reducing the orifice diameter and changing its structure.After theoretical calculation and experimental validation

the above method can achieve a good effect on reduction of self excited vibration.

关键词

Keywords

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