相移器平移误差与倾斜误差不敏感相移新算法

郭红卫; 陈明仪

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相移器平移误差与倾斜误差不敏感相移新算法

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 相移器平移误差与倾斜误差不敏感相移新算法
- New algorithm insensitive to the piston and tilt errors of reference mirror for phase stepping interferometer
- 光学精密工程 2000年8卷第2期页码：185-188
- 作者机构：
  
  上海大学精密机械工程系, 上海嘉定,201800
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： O436.1
- 收稿日期：1999-07-12，
  
  修回日期：1999-11-23，
  
  网络出版日期：2000-04-15，
  
  纸质出版日期：2000-04-15
- 稿件说明：
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郭红卫, 陈明仪. 相移器平移误差与倾斜误差不敏感相移新算法[J]. 光学精密工程, 2000,(2): 185-188

GUO Hong-wei, CHEN Ming-yi . New algorithm insensitive to the piston and tilt errors of reference mirror for phase stepping interferometer[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2000,(2): 185-188
郭红卫, 陈明仪. 相移器平移误差与倾斜误差不敏感相移新算法[J]. 光学精密工程, 2000,(2): 185-188 DOI：

GUO Hong-wei, CHEN Ming-yi . New algorithm insensitive to the piston and tilt errors of reference mirror for phase stepping interferometer[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2000,(2): 185-188 DOI：

摘要

相移器的相移误差包括平移误差与倾斜误差

使同一幅干涉图诸像素点的相移量并不相等

但仍然在同一平面上.据此

本文提出了消除相移器位移误差与倾斜误差的最小二乘迭代算法.通过对相移平面的最小二乘拟合

即可以消除相移器平移误差与倾斜误差对位相分布求解结果的影响.并通过数值模拟

验证了这种算法在消除相移器位移误差与倾斜影响上的有效性.

Abstract

A new algorithm insensitive to the piston and tilt errors of reference mirror for phase stepping interferometer is presented. Clearly

if the reference mirror has tilt and piston errors caused by phase-shifting

every pixel on the same interferogram will have different phase-shift values. And by the fact that the phase shifts of all the pixel on the same interferogram are still kept on a same plane

so by least-squares fitting to the phase-shift plane

the errors can be eliminated. The validity of this algorithm has been demonstrated by means of computer simulation.

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