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薄膜反射镜静电成形单电极控制
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-08-12
    • 薄膜反射镜静电成形单电极控制

    • The test design of shape controlled with single electrode Electrostatic about the membrane mirror

    • 光学精密工程   2009年17卷第8期 页码:1964-1970
    • 中图分类号: TH704
    • 收稿日期:2009-01-19

      修回日期:2009-04-29

      网络出版日期:2009-08-20

      纸质出版日期:2009-08-20

    移动端阅览

  • 安源,齐迎春,孙小伟,金光. 薄膜反射镜静电成形单电极控制[J]. 光学精密工程, 2009,17(8):1964-1970 DOI:

    The test design of shape controlled with single electrode Electrostatic about the membrane mirror[J]. Optics and precision engineering, 2009, 17(8): 1964-1970. DOI:

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