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紫外平面刻划光栅杂散光数值分析及测量方法
现代应用光学 | 更新时间:2020-08-12
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    • 紫外平面刻划光栅杂散光数值分析及测量方法

    • Numerical analysis and measurement method of stray light for UV ruled gratings

    • 光学精密工程   2009年17卷第8期 页码:1783-1789
    • 收稿日期:2008-09-24

      修回日期:2008-11-04

      网络出版日期:2009-08-20

      纸质出版日期:2009-08-20

    移动端阅览

  • 巴音贺希格. 紫外平面刻划光栅杂散光数值分析及测量方法[J]. 光学精密工程, 2009,17(8):1783-1789 DOI:

    Numerical analysis and measurement method of stray light for UV ruled gratings[J]. Optics and precision engineering, 2009, 17(8): 1783-1789. DOI:

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