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双向高过载硅基差压敏感元件的研制
更新时间：2025-01-08
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    • 双向高过载硅基差压敏感元件的研制

    • Development of bi-directional high overload silicon-based differential pressure sensitive element

    • “在差压传感器领域，研究人员设计了梁-群岛错位膜结构差压敏感元件，有效提高了双向过载能力。”
    • 光学精密工程   2025年 页码：1-11
    • 中图分类号： TP212

    • 收稿日期：2024-10-25，

      修回日期：2024-12-26，

      网络出版日期：2025-01-08，

    移动端阅览

  • 杜立群,李奥奇,李蒙等.双向高过载硅基差压敏感元件的研制[J].光学精密工程, DOI：10.37188/OPE.XXXXXXXX.0001

    DU Liqun,LI Aoqi,LI Meng,et al.Development of bi-directional high overload silicon-based differential pressure sensitive element[J].Optics and Precision Engineering, DOI：10.37188/OPE.XXXXXXXX.0001

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