膜厚监控系统准直聚焦耦合光路的研制

谢海峰; 付秀华; 董所涛; 石澎; 任松林; 杜昕; 王由德

doi:10.37188/OPE.20253301.0025

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

膜厚监控系统准直聚焦耦合光路的研制

现代应用光学 | 更新时间：2025-03-07

- 膜厚监控系统准直聚焦耦合光路的研制
- Development of collimated focus coupled optical path for film thickness monitoring system
- “在光学膜厚监控领域，专家设计了准直聚焦耦合光路系统，提高了监控精度和光谱矩形度，为制备高精度窄带滤光膜提供解决方案。”
- 光学精密工程 2025年33卷第1期页码：25-36
- 作者机构：
  
  1.长春理工大学光电工程学院，吉林长春 130022
  2.长春理工大学中山研究院，广东中山 528436
  3.中山火炬职业技术学院，广东中山 528436
  4.广东长理精讯光电科技有限公司，广东中山 528436
- 作者简介：
  
  [ "谢海峰（1999-），男，广东梅州人，硕士研究生，2022年于长春理工大学获得学士学位，主要从事光学薄膜方面的研究。E-mail： xiehaifeng_704@163.com" ]
  [ "付秀华（1963-），女，博士，教授，博士生导师，1984年于长春光机学院（现长春理工大学）获得学士学位，2010年于长春理工大学获得博士学位，主要从事于光学薄膜和光学制造方面的研究。E-mail： goptics@126.com" ]
- 基金信息：
  
  中山市引进创新团队项目(CXTD2023008);中山市社会公益科技研究项目(2022B2005)
- DOI：10.37188/OPE.20253301.0025
  中图分类号： O484;TB43
- CSTR：32169.14.OPE.20253301.0025
- 收稿日期：2024-08-13，
  
  修回日期：2024-09-13，
  
  纸质出版日期：2025-01-10
- 稿件说明：
移动端阅览
谢海峰,付秀华,董所涛等.膜厚监控系统准直聚焦耦合光路的研制[J].光学精密工程,2025,33(01):25-36.

XIE Haifeng,FU Xiuhua,DONG Suotao,et al.Development of collimated focus coupled optical path for film thickness monitoring system[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(01):25-36.
谢海峰,付秀华,董所涛等.膜厚监控系统准直聚焦耦合光路的研制[J].光学精密工程,2025,33(01):25-36. DOI： 10.37188/OPE.20253301.0025. CSTR： 32169.14.OPE.20253301.0025.

XIE Haifeng,FU Xiuhua,DONG Suotao,et al.Development of collimated focus coupled optical path for film thickness monitoring system[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(01):25-36. DOI： 10.37188/OPE.20253301.0025. CSTR： 32169.14.OPE.20253301.0025.

浏览量

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

40~90 nm波段极紫外多层膜研究进展

矿井瓦斯/空气预混气体爆燃研究中的激光纹影测试系统设计

矿井瓦斯/空气预混气体爆燃的激光纹影测试系统设计

膜厚监控系统准直聚焦耦合光路的研制

Development of collimated focus coupled optical path for film thickness monitoring system

DOI：10.37188/OPE.20253301.0025