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双向高过载硅基差压敏感元件的研制
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2025-03-21
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    • 双向高过载硅基差压敏感元件的研制

    • Development of bi-directional high overload silicon-based differential pressure sensitive element

    • “在传感器技术领域，研究人员设计了梁-群岛错位膜结构差压敏感元件，有效提升了双向过载能力。”
    • 光学精密工程   2025年33卷第2期 页码：209-219

    • DOI：10.37188/OPE.20253302.0209    

      中图分类号： TP212
    • CSTR：32169.14.OPE.20253302.0209    

    • 收稿日期：2024-10-25，

      修回日期：2024-12-26，

      纸质出版日期：2025-01-25

    移动端阅览

  • 杜立群,李奥奇,李蒙等.双向高过载硅基差压敏感元件的研制[J].光学精密工程,2025,33(02):209-219. DOI： 10.37188/OPE.20253302.0209. CSTR： 32169.14.OPE.20253302.0209.

    DU Liqun,LI Aoqi,LI Meng,et al.Development of bi-directional high overload silicon-based differential pressure sensitive element[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(02):209-219. DOI： 10.37188/OPE.20253302.0209. CSTR： 32169.14.OPE.20253302.0209.

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相关作者

李奥奇
杜立群
王循
解鹏
宋伟阳
景玲玲
章亚男
朱寒雨

相关机构

中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
中国科学院 天基动态快速光学成像技术重点实验室
上海大学 机电工程与自动化学院
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 吉林 长春 130033
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