晶圆定位标记光学成像的自适应聚焦评价

杨金; 张航瑛; 孟凯; 楼佩煌

doi:10.37188/OPE.20253303.0389

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晶圆定位标记光学成像的自适应聚焦评价

现代应用光学 | 更新时间：2025-03-26

- 晶圆定位标记光学成像的自适应聚焦评价
- Adaptive focusing evaluation algorithm for optical imaging of wafer positioning marks
- “在晶圆定位标记领域，专家提出了基于多向梯度方差的自适应聚焦评价算法，有效提升了自动聚焦的灵敏度和稳定性。”
- 光学精密工程 2025年33卷第3期页码：389-401
- 作者机构：
  
  1.南京航空航天大学机电学院，江苏南京 210016
  2.微波光子技术国家级重点实验室，江苏南京 210016
  3.工业和信息化部空天集成电路与微系统重点实验室，江苏南京 210016
- 作者简介：
  
  [ "杨金（1998—），男，四川西昌人，硕士研究生，2022年于南京航空航天大学获得学士学位，主要从事自动对焦等方面的研究。E-mail：jinyang@nuaa.edu.cn" ]
  [ "张航瑛（1991—），男，山西运城人，博士，副教授，硕士生导师，2014年于太原理工大学获得学士学位，2020年于西安交通大学获得博士学位，2021年至2023年于清华大学精密仪器系从事博士后研究，主要从事光学精密测量技术方面的研究。E-mail：markzhang@nuaa.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(62205175);江苏省科技成果转化专项资金揭榜挂帅项目(BA2021005);江苏省重点研发计划揭榜挂帅项目课题(BE2023015-2);南京航空航天大学引进人才科研启动项目(YAH22047;YAH23025)
- DOI：10.37188/OPE.20253303.0389
  中图分类号： TH744;TP391.4
- CSTR：32169.14.OPE.20253303.0389
- 收稿日期：2024-11-25，
  
  修回日期：2024-12-18，
  
  纸质出版日期：2025-02-10
- 稿件说明：
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杨金,张航瑛,孟凯等.晶圆定位标记光学成像的自适应聚焦评价[J].光学精密工程,2025,33(03):389-401.

YANG Jin,ZHANG Hangying,MENG Kai,et al.Adaptive focusing evaluation algorithm for optical imaging of wafer positioning marks[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(03):389-401.
杨金,张航瑛,孟凯等.晶圆定位标记光学成像的自适应聚焦评价[J].光学精密工程,2025,33(03):389-401. DOI： 10.37188/OPE.20253303.0389. CSTR： 32169.14.OPE.20253303.0389.

YANG Jin,ZHANG Hangying,MENG Kai,et al.Adaptive focusing evaluation algorithm for optical imaging of wafer positioning marks[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(03):389-401. DOI： 10.37188/OPE.20253303.0389. CSTR： 32169.14.OPE.20253303.0389.

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DOI：10.37188/OPE.20253303.0389