多束电子源设计与实验

赵伟霞; 白凌超; 张利新; 刘俊标; 殷伯华; 韩立

doi:10.37188/OPE.20253305.0741

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多束电子源设计与实验

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2025-04-17

- 多束电子源设计与实验
- Design and experiment of multi-beam electron source
- “在提高单电子束设备通量领域，研究人员开发了基于肖特基阴极的多束电子源系统，实现了多孔阵列分束板制备和微阵列静电透镜高精度装配，为多电子束设备设计提供解决方案。”
- 光学精密工程 2025年33卷第5期页码：741-750
- 作者机构：
  
  1.中国科学院电工研究所微纳加工技术与智能电气设备研究部，北京 100190
  2.中国科学院大学电子电气与通信工程学院，北京 100049
  3.北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院，北京 100192
- 作者简介：
  
  [ "赵伟霞（1989-），女，河北邯郸人，博士研究生，助理研究员，2012年于燕山大学获得学士学位，2015年于北京航空航天大学获得硕士学位，主要从事电子束检测与多束技术方面的研究。E-mail： zhaowx@mail.iee.ac.cn" ]
  [ "张利新（1987-），男，辽宁凌海人，博士，副研究员，2020年于北京航空航天大学获得博士学位，2023年于中国科学院电工研究所博士后出站，主要从事电子光学系统设计及其应用技术的研究。E-mail： zhanglx@mail.iee.ac.cn" ]
- 基金信息：
  
  中国科学院科研仪器设备研制项目(PTYQ2024BJ0004)
- DOI：10.37188/OPE.20253305.0741
  中图分类号： TN16
- CSTR：32169.14.OPE.20253305.0741
- 收稿日期：2024-11-20，
  
  修回日期：2025-01-06，
  
  纸质出版日期：2025-03-10
- 稿件说明：
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赵伟霞,白凌超,张利新等.多束电子源设计与实验[J].光学精密工程,2025,33(05):741-750.

ZHAO Weixia,BAI Lingchao,ZHANG Lixin,et al.Design and experiment of multi-beam electron source[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(05):741-750.
赵伟霞,白凌超,张利新等.多束电子源设计与实验[J].光学精密工程,2025,33(05):741-750. DOI： 10.37188/OPE.20253305.0741. CSTR： 32169.14.OPE.20253305.0741.

ZHAO Weixia,BAI Lingchao,ZHANG Lixin,et al.Design and experiment of multi-beam electron source[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(05):741-750. DOI： 10.37188/OPE.20253305.0741. CSTR： 32169.14.OPE.20253305.0741.

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Design and experiment of multi-beam electron source

DOI：10.37188/OPE.20253305.0741