硅反射靶增强的飞秒激光融石英微半球谐振子释放技术

庄须叶; 乔琦; 高忠峰; 韩诗林; 胡友旺; 李平华

doi:10.37188/OPE.20253306.0905

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硅反射靶增强的飞秒激光融石英微半球谐振子释放技术

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2025-05-26

- 硅反射靶增强的飞秒激光融石英微半球谐振子释放技术
- Femtosecond laser fused silica microhemispherical resonator release enhanced by a silicon reflective target
- “融石英微半球谐振陀螺技术取得新突破，专家通过飞秒激光加工优化释放工艺，显著提升释放速度和表面质量，为高性能石英微半球谐振子制备提供技术支撑。”
- 光学精密工程 2025年33卷第6期页码：905-915
- 作者机构：
  
  1.山东理工大学机械工程学院，山东淄博 255000
  2.中南大学机电工程学院，湖南长沙 410083
- 作者简介：
  
  [ "庄须叶（1981-），男，山东日照人，博士，教授，2004年于西南石油大学获得学士学位，2009年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位，主要从事MEMS传感器研究。E-mail： zxye@sdut.edu.cn" ]
  [ "李平华（1981-），女，四川简阳人，实验师，2004 年于西南石油大学获得学士学位，2018 年于电子科技大学获得硕士学位，主要从事传感器信息融合、测试与控制检测方面的研究。E-mail： lipinghua@sdut.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  泰山学者青年专家项目(tsqn201909108);山东省自然基金面上项目(ZR2021MF042)
- DOI：10.37188/OPE.20253306.0905
  中图分类号： TN249
- CSTR：32169.14.OPE.20253306.0905
- 收稿日期：2025-01-14，
  
  修回日期：2025-02-10，
  
  纸质出版日期：2025-03-25
- 稿件说明：
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庄须叶,乔琦,高忠峰等.硅反射靶增强的飞秒激光融石英微半球谐振子释放技术[J].光学精密工程,2025,33(06):905-915.

ZHUANG Xuye,QIAO Qi,GAO Zhongfeng,et al.Femtosecond laser fused silica microhemispherical resonator release enhanced by a silicon reflective target[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(06):905-915.
庄须叶,乔琦,高忠峰等.硅反射靶增强的飞秒激光融石英微半球谐振子释放技术[J].光学精密工程,2025,33(06):905-915. DOI： 10.37188/OPE.20253306.0905. CSTR： 32169.14.OPE.20253306.0905.

ZHUANG Xuye,QIAO Qi,GAO Zhongfeng,et al.Femtosecond laser fused silica microhemispherical resonator release enhanced by a silicon reflective target[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(06):905-915. DOI： 10.37188/OPE.20253306.0905. CSTR： 32169.14.OPE.20253306.0905.

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硅反射靶增强的飞秒激光融石英微半球谐振子释放技术

Femtosecond laser fused silica microhemispherical resonator release enhanced by a silicon reflective target

DOI：10.37188/OPE.20253306.0905