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1.中国科学院 微电子研究所,北京 100029
2.中国科学院大学,北京 100049
[ "赵天元(1996-),男,河南焦作人,博士研究生,2018年于吉林大学获得学士学位,主要从事精密检测方面的研究。E-mail: zhaotianyuan@ime.ac.cn" ]
[ "董登峰(1981-),男,河南商丘人,博士,研究员,博士生导师,2004年于郑州大学获得学士学位,2012年于北京航空航天大学获得博士学位,主要从事光学精密测量、AI识别方法、智能跟踪控制、视觉伺服控制系统等方面的研究。E-mail: dongdengfeng@ime.ac.cn" ]
收稿日期:2024-12-17,
修回日期:2025-01-24,
纸质出版日期:2025-05-10
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赵天元,董登峰,王国名等.Micro LED表面缺陷的快速高精度检测[J].光学精密工程,2025,33(09):1434-1445.
ZHAO Tianyuan,DONG Dengfeng,WANG Guoming,et al.Rapid and high-precision detection on surface defects of micro LED[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(09):1434-1445.
赵天元,董登峰,王国名等.Micro LED表面缺陷的快速高精度检测[J].光学精密工程,2025,33(09):1434-1445. DOI: 10.37188/OPE.20253309.1434. CSTR: 32169.14.OPE.20253309.1434.
ZHAO Tianyuan,DONG Dengfeng,WANG Guoming,et al.Rapid and high-precision detection on surface defects of micro LED[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(09):1434-1445. DOI: 10.37188/OPE.20253309.1434. CSTR: 32169.14.OPE.20253309.1434.
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