磁浸没热场发射电子枪

赵伟霞; 张利新; 刘俊标; 殷伯华; 韩立

doi:10.37188/OPE.20253311.1700

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磁浸没热场发射电子枪

现代应用光学 | 更新时间：2025-07-23

- 磁浸没热场发射电子枪
- Thermal field electron gun immersed in magnetic lens field
- “在提高扫描电镜设备性能领域，专家设计了磁浸没式热场发射电子枪，有效提升发射束流，为设备性能提升提供新方案。”
- 光学精密工程 2025年33卷第11期页码：1700-1712
- 作者机构：
  
  1.中国科学院电工研究所微纳加工技术与智能电气设备研究部，北京 100190
  2.中国科学院大学电子电气与通信工程学院，北京 100049
- 作者简介：
  
  [ "赵伟霞（1989-），女，河北邯郸人，博士研究生，助理研究员，2012年于燕山大学获得学士学位，2015年于北京航空航天大学获得硕士学位，主要从事电子束检测与多束技术方面的研究。E-mail： zhaowx@mail.iee.ac.cn" ]
  [ "张利新（1987-），男，辽宁凌海人，博士，副研究员，2020年于北京航空航天大学获得博士学位，2023年于中国科学院电工研究所博士后出站，主要从事电子光学系统设计及其应用技术的研究。E-mail： zhanglx@mail.iee.ac.cn" ]
  [ "刘俊标（1974-），男，福建莆田人，博士，研究员，硕士生导师，中国科学院电工研究所微纳加工技术组组长，长期从事电子光学、微焦点射线源、电子束及应用等技术方面的研究。E-mail：liujb@mail.iee.ac.cn" ]
- 基金信息：
  
  国家重点研发计划资助项目(2022YFF0709400);中国科学院科研仪器设备研制项目(PTYQ2024BJ0004)
- DOI：10.37188/OPE.20253311.1700
  中图分类号： TN16
- CSTR：32169.14.OPE.20253311.1700
- 收稿日期：2025-02-27，
  
  修回日期：2025-05-05，
  
  纸质出版日期：2025-06-10
- 稿件说明：
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赵伟霞,张利新,刘俊标等.磁浸没热场发射电子枪[J].光学精密工程,2025,33(11):1700-1712.

ZHAO Weixia,ZHANG Lixin,LIU Junbiao,et al.Thermal field electron gun immersed in magnetic lens field[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(11):1700-1712.
赵伟霞,张利新,刘俊标等.磁浸没热场发射电子枪[J].光学精密工程,2025,33(11):1700-1712. DOI： 10.37188/OPE.20253311.1700. CSTR： 32169.14.OPE.20253311.1700.

ZHAO Weixia,ZHANG Lixin,LIU Junbiao,et al.Thermal field electron gun immersed in magnetic lens field[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(11):1700-1712. DOI： 10.37188/OPE.20253311.1700. CSTR： 32169.14.OPE.20253311.1700.

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