基于频域滤波面形的毫米级束径离子束驻留时间补偿

卞萌; 胡海翔; 唐瓦; 季鹏; 张学军

doi:10.37188/OPE.20253311.1739

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基于频域滤波面形的毫米级束径离子束驻留时间补偿

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2025-07-23

- 基于频域滤波面形的毫米级束径离子束驻留时间补偿
- Dwell time compensation for millimeter spot-sized ion beam figuring based on frequency-domain filtered surface
- “在高精度光学元件加工领域，专家提出了基于频域滤波的离子束加工收敛率优化方法，有效提升了细束径去除函数的误差修正能力，为全频段误差一致性收敛提供了解决方案。”
- 光学精密工程 2025年33卷第11期页码：1739-1749
- 作者机构：
  
  1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春 130033
  2.中国科学院大学，北京100049
  3.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造全国重点实验室，吉林长春 130033
- 作者简介：
  
  [ "卞萌（1999-），女，山东济宁人，硕士研究生，2021年于长春理工大学获得学士学位，主要从事离子束加工方面的研究。E-mail： bianmeng22@mails.ucas.ac.cn" ]
  [ "胡海翔（1990-），男，安徽淮南人，博士，研究员，2012年于中国科学技术大学获得学士学位，2017年于中国科学院大学获得博士学位，主要从事先进光学制造技术、皮米精度光学制造技术及装备、超大口径光学加工诊断与决策、宽动态高精度大口径光学检测仪器技术方面的研究。E-mail： hhx@ciomp.ac.cn" ]
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(62127901;12103054;62405314;62305333;62375260);国家重点研发计划资助项目(2022YFB3403405);中国科学院青年创新促进会(2019221;Y2023062);中国科协青年人才托举工程资助项目(2022QNRC001);吉林省青年精英科学家赞助计划(QT202222);长春市科技计划资助项目(2024GZZ19);吉林省科技发展计划资助项目(SKL202402021)
- DOI：10.37188/OPE.20253311.1739
  中图分类号： TN305.2
- CSTR：32169.14.OPE.20253311.1739
- 收稿日期：2025-03-12，
  
  修回日期：2025-04-22，
  
  纸质出版日期：2025-06-10
- 稿件说明：
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卞萌,胡海翔,唐瓦等.基于频域滤波面形的毫米级束径离子束驻留时间补偿[J].光学精密工程,2025,33(11):1739-1749.

BIAN Meng,HU Haixiang,TANG Wa,et al.Dwell time compensation for millimeter spot-sized ion beam figuring based on frequency-domain filtered surface[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(11):1739-1749.
卞萌,胡海翔,唐瓦等.基于频域滤波面形的毫米级束径离子束驻留时间补偿[J].光学精密工程,2025,33(11):1739-1749. DOI： 10.37188/OPE.20253311.1739. CSTR： 32169.14.OPE.20253311.1739.

BIAN Meng,HU Haixiang,TANG Wa,et al.Dwell time compensation for millimeter spot-sized ion beam figuring based on frequency-domain filtered surface[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(11):1739-1749. DOI： 10.37188/OPE.20253311.1739. CSTR： 32169.14.OPE.20253311.1739.

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DOI：10.37188/OPE.20253311.1739