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四质量高频三轴MEMS陀螺设计及制造
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2025-08-04

    • 四质量高频三轴MEMS陀螺设计及制造

    • Design and fabrication of a quad-mass high-frequency triaxial MEMS gyroscope

    • “最新报道，科研团队设计出高频三轴MEMS陀螺，体积小、抗干扰能力强，为陀螺研制提供新方案。”
    • 光学精密工程   2025年33卷第12期 页码：1916-1928

    • DOI：10.37188/OPE.20253312.1916    

      中图分类号： TH703;TP212
    • CSTR：32169.14.OPE.20253312.1916    

    • 收稿日期：2025-03-04，

      修回日期：2025-03-25，

      纸质出版日期：2025-06-25

    移动端阅览

  • 魏雯强,田慧敏,蔡麒等.四质量高频三轴MEMS陀螺设计及制造[J].光学精密工程,2025,33(12):1916-1928. DOI： 10.37188/OPE.20253312.1916. CSTR： 32169.14.OPE.20253312.1916.

    WEI Wenqiang,TIAN Huimin,CAI Qi,et al.Design and fabrication of a quad-mass high-frequency triaxial MEMS gyroscope[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(12):1916-1928. DOI： 10.37188/OPE.20253312.1916. CSTR： 32169.14.OPE.20253312.1916.

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