微小型MEMS-FPI近红外光谱仪

厉奔; 陈方方; 王飞; 郑赞胜; 邹益波; 虞益挺

doi:10.37188/OPE.20253313.2020

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微小型MEMS-FPI近红外光谱仪

现代应用光学 | 更新时间：2025-08-08

- 微小型MEMS-FPI近红外光谱仪
- Miniaturized near-infrared spectrometer based on MEMS-FPI sensor
- “在生物医学检测与食品质量分析领域，研究者基于滨松MEMS-FPI近红外光谱传感器C14272，成功研发了微小型化近红外光谱仪，为经济高效解决方案提供新思路。”
- 光学精密工程 2025年33卷第13期页码：2020-2035
- 作者机构：
  
  1.西北工业大学宁波研究院浙江省高性能MEMS芯片规模制造技术重点实验室，宁波市光学微系统及应用技术重点实验室，浙江宁波 315103
  2.西北工业大学机电学院空天微纳系统教育部重点实验室，陕西省微纳机电系统重点实验室，陕西西安 710072
  3.宁波九胜创新医药科技有限公司，浙江宁波 315103
  4.宁波玄流智造有限公司，浙江宁波 315103
- 作者简介：
  
  [ "厉奔（1998-），男，硕士研究生，2020年于哈尔滨工业大学获得学士学位，主要从事计算光学成像与集成电路设计等方面的应用研究。E-mail：lb17863108129@gmail.com" ]
  [ "虞益挺（1980-），男，浙江宁波人，博士，教授，博士生导师，2003年、2006年、2010年于西北工业大学分别获得学士、硕士和博士学位，主要从事微纳光学成像与传感方面的应用基础研究。E-mail： yyt@nwpu.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  宁波市重大科技任务攻关项目（科技创新2025重大专项）(2022Z138);甬江引才工程“3315计划”创新团队项目(2021A-041-C);宁波市重点技术研发项目(2023T018)
- DOI：10.37188/OPE.20253313.2020
  中图分类号： TH741
- CSTR：32169.14.OPE.20253313.2020
- 收稿日期：2025-04-09，
  
  修回日期：2025-05-07，
  
  纸质出版日期：2025-07-10
- 稿件说明：
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厉奔,陈方方,王飞等.微小型MEMS-FPI近红外光谱仪[J].光学精密工程,2025,33(13):2020-2035.

LI Ben,CHEN Fangfang,WANG Fei,et al.Miniaturized near-infrared spectrometer based on MEMS-FPI sensor[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(13):2020-2035.
厉奔,陈方方,王飞等.微小型MEMS-FPI近红外光谱仪[J].光学精密工程,2025,33(13):2020-2035. DOI： 10.37188/OPE.20253313.2020. CSTR： 32169.14.OPE.20253313.2020.

LI Ben,CHEN Fangfang,WANG Fei,et al.Miniaturized near-infrared spectrometer based on MEMS-FPI sensor[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(13):2020-2035. DOI： 10.37188/OPE.20253313.2020. CSTR： 32169.14.OPE.20253313.2020.

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微小型MEMS-FPI近红外光谱仪

Miniaturized near-infrared spectrometer based on MEMS-FPI sensor

DOI：10.37188/OPE.20253313.2020