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微型高精度光栅位移传感器设计及误差补偿
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-01-15

    • 微型高精度光栅位移传感器设计及误差补偿

    • Miniature high-precision grating displacement sensor design and error compensation

    • “在精密位移测量领域，研究人员提出了一种新型微型光栅位移传感器，通过“W”形反射式折叠光路结构设计，实现了高量程-长度比和高精度测量，解决了狭小空间下的测量难题。”
    • 光学精密工程   2025年33卷第22期 页码：3525-3535

    • DOI：10.37188/OPE.20253322.3525    

      中图分类号： TP212
    • CSTR：32169.14.OPE.20253322.3525    

    • 收稿：2025-07-02，

      修回：2025-10-22，

      纸质出版：2025-11-25

    移动端阅览

  • 李子文,赵茂众,杜伟等.微型高精度光栅位移传感器设计及误差补偿[J].光学精密工程,2025,33(22):3525-3535. DOI： 10.37188/OPE.20253322.3525. CSTR： 32169.14.OPE.20253322.3525.

    LI Ziwen,ZHAO Maozhong,DU Wei,et al.Miniature high-precision grating displacement sensor design and error compensation[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(22):3525-3535. DOI： 10.37188/OPE.20253322.3525. CSTR： 32169.14.OPE.20253322.3525.

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