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微纳米三坐标测量机的技术进展
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2025-12-19

    • 微纳米三坐标测量机的技术进展

    • Advances in micro/nano CMM

    • “在超精密器件领域，专家综述了微纳米三坐标测量机的研究进展，提出了基于阿贝与布莱恩原则的空间误差建模与补偿创新方法，为实现纳米级精度测量提供解决方案。”
    • 光学精密工程   2025年33卷第23期 页码：3672-3690

    • DOI：10.37188/OPE.20253323.3672    

      中图分类号： TH71;TH74
    • CSTR：32169.14.OPE.20253323.3672    

    • 收稿：2025-07-10，

      修回：2025-07-28，

      纸质出版：2025-12-10

    移动端阅览

  • 何亚雄,李瑞君,黄强先等.微纳米三坐标测量机的技术进展[J].光学精密工程,2025,33(23):3672-3690. DOI： 10.37188/OPE.20253323.3672. CSTR： 32169.14.OPE.20253323.3672.

    HE Yaxiong,LI Ruijun,HUANG Qiangxian,et al.Advances in micro/nano CMM[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(23):3672-3690. DOI： 10.37188/OPE.20253323.3672. CSTR： 32169.14.OPE.20253323.3672.

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