基于多测头的反射镜面形检测

曲梓浩; 王孝坤; 蔡梦雪; 戚二辉; 赵映景; 刘忠凯; 王玉坤; 薛栋林; 张学军

doi:10.37188/OPE.20263405.0701

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基于多测头的反射镜面形检测

现代应用光学 | 更新时间：2026-03-12

- 基于多测头的反射镜面形检测
- Mirror surface shape measurement based on multiple probes
- “介绍了其在光学元件研磨检测领域的研究进展，相关专家提出了一种多测头非接触式面形检测方法，为解决传统检测方法难以兼顾精度与效率的问题提供了新的解决方案。”
- 光学精密工程 2026年34卷第5期页码：701-710
- 作者机构：
  
  1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春 130033
  2.中国科学院大学，北京 100049
  3.光学系统先进制造全国重点实验室，吉林长春 130033
- 作者简介：
  
  [ "曲梓浩（2000-），男，河北邢台人，硕士研究生，2023年于河北工业大学获得学士学位，主要从事光学检测与算法方面的研究。E-mail：quzihao7@163.com" ]
  [ "王孝坤（1980-），男，江苏丹阳人，博士，研究员，博士生导师，2003年于江苏师范大学获得学士学位，2008年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位，主要从事光学制造与测试技术方面的研究。E-mail：jimwxk@sohu.com" ]
- 基金信息：
  
  国家重大科研仪器研制项目(62127901)
- DOI：10.37188/OPE.20263405.0701
  中图分类号： O439
- CSTR：32169.14.OPE.20263405.0701
- 收稿：2025-12-26，
  
  修回：2026-01-13，
  
  纸质出版：2026-03-10
- 稿件说明：
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曲梓浩,王孝坤,蔡梦雪等.基于多测头的反射镜面形检测[J].光学精密工程,2026,34(05):701-710.

QU Zihao,WANG Xiaokun,CAI Mengxue,et al.Mirror surface shape measurement based on multiple probes[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(05):701-710.
曲梓浩,王孝坤,蔡梦雪等.基于多测头的反射镜面形检测[J].光学精密工程,2026,34(05):701-710. DOI： 10.37188/OPE.20263405.0701. CSTR： 32169.14.OPE.20263405.0701.

QU Zihao,WANG Xiaokun,CAI Mengxue,et al.Mirror surface shape measurement based on multiple probes[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(05):701-710. DOI： 10.37188/OPE.20263405.0701. CSTR： 32169.14.OPE.20263405.0701.

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基于多测头的反射镜面形检测

Mirror surface shape measurement based on multiple probes

DOI：10.37188/OPE.20263405.0701