外延展螺旋形绝对式时栅角位移传感原理及器件

陈自然; 张子仪; 郑永海; 何智颖; 史立业; 何志林; 杨旭

doi:10.37188/OPE.20263405.0784

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外延展螺旋形绝对式时栅角位移传感原理及器件

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-03-12

- 外延展螺旋形绝对式时栅角位移传感原理及器件
- Absolute angular displacement sensing principle and sensors based on time grating with extended spiral
- “相关专家提出了一种外延展螺旋形绝对式时栅角位移传感方法，为解决传统绝对式角位移传感器在设计和加工过程中存在的绝对编码和超精密光刻加工问题提供了新的解决方案。”
- 光学精密工程 2026年34卷第5期页码：784-793
- 作者机构：
  
  1.重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心，重庆 400054
  2.时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室，重庆 400054
- 作者简介：
  
  [ "陈自然（1980-），男，湖北广水人，博士，研究员，硕士生导师，2012年于合肥工业大学获得博士学位，主要从事精密机械量检测及智能仪器的研究。E-mail：czr@cqut.edu.cn" ]
  [ "何智颖（1993-），男，重庆黔江人，博士，助理研究员，2016年、2022年于西南交通大学分别获得学士和博士学位，主要从事信号分析、数值仿真与自动化控制的研究。E-mail： he_zhiying@cqut.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  国家重点研发计划项目(2023YFB3209400);国家自然科学基金(52175495;52475549);重庆市自然科学基金资助项目(CSTB2023NSCQ-LZX0088)
- DOI：10.37188/OPE.20263405.0784
  中图分类号： TP212
- CSTR：32169.14.OPE.20263405.0784
- 收稿：2026-01-07，
  
  修回：2026-01-28，
  
  纸质出版：2026-03-10
- 稿件说明：
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陈自然,张子仪,郑永海等.外延展螺旋形绝对式时栅角位移传感原理及器件[J].光学精密工程,2026,34(05):784-793.

CHEN Ziran,ZHANG Ziyi,ZHENG Yonghai,et al.Absolute angular displacement sensing principle and sensors based on time grating with extended spiral[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(05):784-793.
陈自然,张子仪,郑永海等.外延展螺旋形绝对式时栅角位移传感原理及器件[J].光学精密工程,2026,34(05):784-793. DOI： 10.37188/OPE.20263405.0784. CSTR： 32169.14.OPE.20263405.0784.

CHEN Ziran,ZHANG Ziyi,ZHENG Yonghai,et al.Absolute angular displacement sensing principle and sensors based on time grating with extended spiral[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(05):784-793. DOI： 10.37188/OPE.20263405.0784. CSTR： 32169.14.OPE.20263405.0784.

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