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超薄玻璃飞秒激光切割工艺优化与热损伤抑制
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-06-17

    • 超薄玻璃飞秒激光切割工艺优化与热损伤抑制

    • Optimization of femtosecond laser cutting process and suppression of thermal damage for ultra-thin glass

    • 光学精密工程   2026年34卷第10期 页码：1556-1567

    • DOI：10.37188/OPE.20263410.1556    

      中图分类号： TN249;U463.835
    • CSTR：32169.14.OPE.20263410.1556    

    • 收稿：2026-02-13，

      修回：2026-03-23，

      纸质出版：2026-05-25

    移动端阅览

  • 刘晓娟,张龙,陈贵霖等.超薄玻璃飞秒激光切割工艺优化与热损伤抑制[J].光学精密工程,2026,34(10):1556-1567.

    LIU Xiaojuan,ZHANG Long,CHEN Guilin,et al.Optimization of femtosecond laser cutting process and suppression of thermal damage for ultra-thin glass[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(10):1556-1567.

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