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鲁棒全局优化的晶圆多目视觉对准方法
信息科学 | 更新时间：2026-06-17

    • 鲁棒全局优化的晶圆多目视觉对准方法

    • A robust global optimization-based multi-view visual alignment method for wafer alignment

    • 光学精密工程   2026年34卷第10期 页码：1568-1579

    • DOI：10.37188/OPE.20263410.1568    

      中图分类号： TP394. 1;TH691. 9
    • CSTR：32169.14.OPE.20263410.1568    

    • 收稿：2026-03-23，

      修回：2026-04-15，

      纸质出版：2026-05-25

    移动端阅览

  • 王晓东,陈晓浩,邹正苏等.鲁棒全局优化的晶圆多目视觉对准方法[J].光学精密工程,2026,34(10):1568-1579.

    WANG Xiaodong,CHEN Xiaohao,ZOU Zhengsu,et al.A robust global optimization-based multi-view visual alignment method for wafer alignment[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(10):1568-1579.

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中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所
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大连理工大学 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室
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