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高频超声-快刀伺服复合加工及工艺验证
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-06-18

    • 高频超声-快刀伺服复合加工及工艺验证

    • High-frequency ultrasonic-fast tool servo integrated machining and process verification

    • 光学精密工程   2026年34卷第11期 页码：1732-1742

    • DOI：10.37188/OPE.20263411.1732    

      中图分类号： TH16
    • CSTR：32169.14.OPE.20263411.1732    

    • 收稿：2026-03-17，

      修回：2026-04-27，

      纸质出版：2026-06-10

    移动端阅览

  • 王勋,王峥,郑云祥等.高频超声-快刀伺服复合加工及工艺验证[J].光学精密工程,2026,34(11):1732-1742.

    WANG Xun,WANG Zheng,ZHENG Yunxiang,et al.High-frequency ultrasonic-fast tool servo integrated machining and process verification[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(11):1732-1742.

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同济大学 物理科学与工程学院 精密光学工程技术研究所，先进微结构材料教育部重点实验室，上海市数字光学前沿科学研究基地，上海市全光谱高性能光学薄膜器件与 应用专业技术服务平台
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