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双视场同轴对准误差分析与补偿方法
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-07-20

    • 双视场同轴对准误差分析与补偿方法

    • Error analysis and compensation method for dual-field coaxial alignment

    • 光学精密工程   2026年34卷第12期 页码：1890-1903

    • DOI：10.37188/OPE.20263412.1890    

      中图分类号： TH74;TH166
    • CSTR：32169.14.OPE.20263412.1890    

    • 收稿：2026-04-10，

      修回：2026-05-20，

      网络首发：2026-07-16，

      纸质出版：2026-06-25

    移动端阅览

  • 焦少伟,黄鹏鹏,杨兴伦等.双视场同轴对准误差分析与补偿方法[J].光学精密工程,2026,34(12):1890-1903.

    JIAO Shaowei,HUANG Pengpeng,YANG Xinglun,et al.Error analysis and compensation method for dual-field coaxial alignment[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(12):1890-1903.

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