伺服频率对超精密机床性能影响

武海亮; 杨辉; 马善意; 罗松保; 金盈

doi:10.37188/OPE.20263416.2498

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伺服频率对超精密机床性能影响

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-08-26

- 伺服频率对超精密机床性能影响
- Influence of servo frequency on performance of ultra-precision machine tools
- 光学精密工程 2026年34卷第16期页码：2498-2511
- 作者机构：
  
  1.北京航空精密机械研究所精密制造技术航空科技重点实验室，北京 100076
  2.华中科技大学机械科学与工程学院，湖北武汉 430074
- 作者简介：
  
  武海亮（1999-），男，宁夏吴忠人，助理工程师，2021年于哈尔滨工程大学获得学士学位，2024年于北京航空精密机械研究所获得硕士学位，主要从事超精密加工设备的控制系统研究。E-mail：1159198036@qq.com
  杨辉（1967-），男，浙江宁波人，博士，研究员，航空工业集团首席专家，1989 年、1992 年、1999 年于哈尔滨工业大学分别获得学士、硕士、博士学位。主要研究方向：超精密加工机理、超精密加工工艺、超精密加工设备及其基础元部件集成技术。E-mail：yangh050@avic.com
  马善意（1997-），男，广西南宁人，博士研究生，2019年于华北电力大学获得学士学位，2022年于北京航空精密机械研究所获得硕士学位，现就读于华中科技大学，主要研究方向：难加工材料能场辅助超精密加工、脆性材料椭圆振动切削机理、多能场辅助超精密制造装备。E-mail：857436391@qq.com
- 基金信息：
  
  中央高校基本科研业务费资助(2025JYCXJJ030)
- DOI：10.37188/OPE.20263416.2498
  中图分类号： TP394.1;TH691.9
- CSTR：32169.14.OPE.20263416.2498
- 收稿：2026-05-22，
  
  修回：2026-07-18，
  
  网络首发：2026-08-26，
  
  纸质出版：2026-08-25
- 稿件说明：
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武海亮,杨辉,马善意等.伺服频率对超精密机床性能影响[J].光学精密工程,2026,34(16):2498-2511.

WU Hailiang,YANG Hui,MA Shanyi,et al.Influence of servo frequency on performance of ultra-precision machine tools[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(16):2498-2511.
武海亮,杨辉,马善意等.伺服频率对超精密机床性能影响[J].光学精密工程,2026,34(16):2498-2511. DOI： 10.37188/OPE.20263416.2498. CSTR： 32169.14.OPE.20263416.2498.

WU Hailiang,YANG Hui,MA Shanyi,et al.Influence of servo frequency on performance of ultra-precision machine tools[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(16):2498-2511. DOI： 10.37188/OPE.20263416.2498. CSTR： 32169.14.OPE.20263416.2498.

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DOI：10.37188/OPE.20263416.2498