摘要:为实现对完整光子晶体阵列的一致性监控,单幅截面图像通常需要覆盖较大空间范围,使得单个孔结构在大视场图像中占比极小,截面图像对比度低、边界模糊且形貌复杂,显著增加了自动识别与精确量取的难度。针对该问题,提出一种面向 PCSEL 截面 SEM 图像的孔结构自动识别与几何量取方法。该方法基于语义分割模型实现孔区域的自动识别,可稳定提取不同孔型及成像条件下的孔区域掩模,实现孔结构尺寸的自动量取。实验结果表明,最终选取的语义分割模型在验证集上取得了93%的IoU(F1-score约为95%),具备良好的孔结构封闭性与轮廓连续性;在几何量取方面,自动量取结果与人工测量结果保持良好一致,其量取不确定性相对于孔结构本身特征尺寸约为1%~5%,在不同尺寸区间内均表现出良好的稳定性与重复性。该方法能够有效降低人工标注与逐孔量取带来的不确定性,提高参数统计效率;同时,结合阵列尺度的几何参数统计结果,该方法能够对掩埋纳米孔在横向排布方向上的尺寸一致性与局部非均匀性进行定量表征,为PCSEL掩埋型纳米孔结构的尺寸评估与工程化过程监控提供了一种实用的技术手段。