للحصول على عملية قطع فائقة الدقة بمساعدة الليزر للألواح الأحادية البلورة السيليكون المحسنة، تم دراسة خصائص سطح مكونات السيليكون الأحادي البلورة بعد المعالجة بالقطع. تم استخدام طريقة التجارب المتعامدة لتحسين معلمات عملية القطع الأحادي النقطة بمساعدة الليزر في موقع القطع، وتم قياس وتحليل جودة سطح السيليكون الأحادي البلورة، دقة الشكل السطحي، الإجهاد المتبقي ونفاذية الأشعة البصرية. من خلال تحليل تباين خشونة السطح ونسبة الإشارة إلى الضوضاء لبيانات التجارب المتعامدة، تم الحصول على مجموعة المعلمات المحسنة: سرعة الدوران 1500 دورة/دقيقة، معدل التقديم 5 ملم/دقيقة، عمق القطع 3 ميكرومتر، وطاقة الليزر 4.5 واط. لدى المكونات البصرية ذات الشكل اللاكرومي أحادي البلورة بسيليكون بقطر 165 ملم المعالجة بنفس المعلمات، كان متوسط خشونة السطح ودقة الشكل السطحي PV على التوالي 2.74 نانومتر و0.52 ميكرومتر. بقي ضغط إجهاد متبقي انضغاطي بمقدار (-1760.8±362.1) ميجاباسكال على سطح السيليكون الأحادي البلورة بعد القطع بمساعدة الليزر. معدلات النفاذية بعد والحصول على الطلاء في نطاق الأشعة تحت الحمراء من 3 إلى 5 ميكرومتر للأجزاء البصرية ذات القطع فائق الدقة بمساعدة الليزر كانت 55% و98% على التوالي، مع معامل انكسار 3.43. تظهر النتائج أن تقنية القطع فائقة الدقة بمساعدة الليزر يمكن أن تستخدم كعملية قطع نصف نهائية أو نهائية لمكونات السيليكون الأحادي البلورة لتحسين كفاءة تصنيع المكونات ذات الأشكال المعقدة.

القطع الفائق الدقة بمساعدة الليزر;السيليكون الأحادي البلورة;تحسين العملية;خشونة السطح;دقة الشكل السطحي;الاجهاد المتبقي;نفاذية الأشعة