摘要
المنصة الدقيقة للتحرك الجزئي هي مكون أساسي لتحقيق التموضع عالي الدقة. تحتوي المنصات التقليدية على درجات حرية قليلة ودقة تمييز منخفضة، مما لا يلبي متطلبات التطبيق. لذلك، تم اقتراح هيكل منصة دقيقة ذات ست درجات حرية وتم التحقق من أدائها. اعتمد الهيكل الكلي على طريقة "الدفع المختلط التسلسلي والمتوازي" والهيكل المجوف، حيث توزعت حركة الست درجات حرية بشكل معقول على ثلاث طبقات: طبقة الحركة الخطية، طبقة الحركة الدورانية، وطبقة الدعم. كما تم تصميم وتطوير نظام تحكم حركة للمنصة وحزمة برمجيات تحكم حركة متوافقة معها. أظهرت نتائج التجارب أن إزاحة المحاور X وY وZ هي أقل من 20 و20 و37 ميكرومتر على التوالي، ونطاق إزاحة الزاوية هو أقل من 39″ و33″ و27″ على التوالي؛ دقة التمييز للحركة الخطية أفضل من 0.7 نانومتر، ودقة التمييز للحركة الزاوية أفضل من 0.1″. المنصة الدقيقة الست درجات الحرية المقترحة تقدم مزايا من حيث عدد درجات الحرية العالي والدقة الفائقة مقارنة بالمنصات التقليدية، وهي واعدة للتطبيقات الواسعة في المعالجة فائقة الدقة وتصنيع الميكروإلكترونيات.
关键词
منصة ميكروية;دقة تمييز دون النانومتر;ست درجات حرية;نظام تحكم الحركة
以上内容由讯飞翻译自动生成，翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果，本网站不承担任何商业和法律责任。
The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website