يؤثر سمك غشاء اللصق ودرجة التعبئة في الربط الميكروي بشكل كبير على قوة الالتصاق والزحف في الوصلات. لذلك، درست هذه الورقة عملية ضغط وتشكل غشاء اللصق السائل عالي اللزوجة بكمية صغيرة: تم اختيار مجموعة من الرقائق الصغيرة النموذجية كموضوع للربط باللاصق، وتم إنشاء نموذج محاكاة حسابي لوصف تدفق اللصق الميكروي ومؤشر نسبة الاحتلال لوصف درجة التعبئة، وبناءً على نتائج الحساب تم تحديد مبدئي لمعايير العملية مثل توزيع كمية اللصق وعدد القطرات. تم تطوير جهاز تجميع دقيق للربط الميكروي، وتم اختيار لاصق راتينج الإيبوكسي كعينة لإجراء التجارب والتحليل. أظهرت نتائج الدراسة أن نسبة إشغال غشاء اللاصق المضغوط تزداد بزيادة عدد القطرات لكنها تستقر عند حوالي 91.8%؛ علاوة على ذلك، يرتبط سمك غشاء اللاصق المضغوط علاقة شبه خطية مع قوة الضغط، وهذه العلاقة تتأثر قليلاً بعدد القطرات، وعندما تصل قوة الضغط إلى 7.92 نيوتن، يكون سمك الغشاء حوالي 25 ميكرومتر. هذه الدراسة لها قيمة مرجعية لتحسين السيطرة على عملية الربط الميكروي وجودة غشاء اللاصق.
关键词
تجميع دقيق;ربط ميكروي;لاصق عالي اللزوجة;سمك غشاء اللاصق