上一篇 | 下一篇
Adaptive focusing evaluation algorithm for optical imaging of wafer positioning marks
摘要
العلامات التوجيهية لتحديد الشرائح صغيرة الحجم ومتعددة الأشكال. يعاني التقييم التركيزي التقليدي من مشكلات عديدة مثل ثبات منخفض وحساسية منخفضة. لحل هذه المشكلات، تم إقتراح خوارزمية تقييم تركيزية متكيفة مبنية على انحدار الانحياز المتعدد. يتم أولاً إستخراج نقاط الحواف الخاصة بصورة العلامة بطريقة تدليك ذاتي تكيفية، ثم يتم تقديم مجموعة من أنواع الانحدار مثل برنر وروبرتس لبناء دالة تقييم التركيز المتعدد الانحدار المناسبة لعلامة تحديد الشرائح ويتم حساب قيم كل نقطة بالبيكسل المستخدم والحصول على قيمة تقييم تركيز أولية، ثم يتم حساب انحدار مجموعة الصور الأولية لـ تقييم تركيز الدالة وتحسين المقاومة للضوضاء والحصول على قيمة نهائية لتقييم تركيز الدالة. تظهر نتائج التجربة أن الخوارزمية المقترحة في هذا البحث تقلل من تقلب البحوث الأمثل بنسبة 61.49٪ مقارنة بالخوارزميات التقليدية، وتزيد الحساسية بنسبة 2.56 مرة. يقدم هذا الخوارزمية إستراتيحية حسابية أفضل لتحقيق التركيز التلقائي عالي الحساسية لعلامات توجيه الشرائح حتى صور نانو مميزة أخرى تحتوي على هياكل حافة بارزة.
关键词
imaging system;image quality assessment;fringe analysis;auto-focusing;focus function