لتحقيق تلميع عالي الجودة لسطح عنصر القشرة الرقيقة ، تم اقتراح طريقة للتلميع الموحدة بناءً على مبدأ تلميع مركب المغناطيسي الموريولوجي (Magnetorheological Elastomer، MRE) ؛ وذلك عن طريق تطبيق حقل مغناطيسي على سطح عنصر القشرة الرقيقة الخارجي ، والتحكم بضغط MRE على السطح الداخلي بدقة ، مما يسمح بتحقيق تلميع موحد للسطح الداخلي. باستخدام برنامج COMSOL Multiphysics لمحاكاة الأعداد النووية المرتبطة بالمغناطيسية والمرونة لـ MRE ، تم تحديد الضغط على سطح العنصر وتوزيعه ، والحصول على توزيع السرعة في منطقة التلميع ، وبناء نموذج وظيفة إزالة التلميع على أساس معادلة بريستون. ثم تم تحويل النموذج الى عينات متناثرة ، وتوصيل متجهات إزالة المواد ، واستخدام طريقة الانحدار الصغير غير السالب لحساب أوقات البقاء في منطقة التلميع لكل نقطة. في النهاية ، تم إجراء تجربة تلميع لعنصر زجاج الكوارتز الذائب بأبعاد 60 ملم × 60 ملم × 1 ملم باستخدام جهاز تلميع MRE المغناطيسي تحت قوة مغناطيسية تبلغ 0.32 تسلاً لمدة 78 دقيقة. أظهرت نتائج التجربة أن الضغط على السطح في منطقة التلميع تم التحكم فيه وأن العمق المتوسط لإزالة المواد على سطح المنطقة المغناطيسية يبلغ84.4 نانومتر ونطاق تقلب العمق 10.9% ، مما يحقق تلميع سطح موحد. بناءً على ذلك ، تم إثبات فاعلية هذه الطريقة في تحقيق تلميع موحد لسطح عنصر القشرة الرقيقة.
关键词
التصنيع بالدقة الفائقة ؛ التلميع الموحد ؛ عنصر قشرة رقيقة ؛ مركب المغناطيسي الموريولوجي ؛ عمق الإزالة ؛ مجال مغناطيسي