تأثير تثبيت الشفط الفراغي على تحكم شكل السطح للعدسة

WANG Xi ,  

YAO Peng ,  

BAI Jiarong ,  

LIU Xiang ,  

LI Fengguo ,  

CHU Dongkai ,  

HOU Shijie ,  

WEI Zonglei ,  

摘要

يمكن لتثبيت الشفط الفراغي أن يجعل العدسات تتعرض للضغط بشكل متساوي، ويقلل من الخدوش السطحية، ويستخدم على نطاق واسع في مجال تجميع وتصنيع نظم الآلات البصرية. من أجل دراسة تأثير الشفط الفراغي على شكل السطح للعدسة الرقيقة المسطحة، نقوم بتحليل التأثيرات المختلفة للتواصل بين العدسة والأدوات بناءً على نظرية انحناء الألواح المعتمدة على الدوران ونظرية الألواح الرقيقة. نقم بإنشاء نموذج للتحليل المشترك بين السائل والصلب لتحليل تأثيرات التشكل السطحي للعدسة تحت شروط تفريغ مختلفة، وتحقق من جدوى طريقة تحكم شفط الفراغ في تشكيل السطح. في النهاية، نقوم بتحليل تغيرات شكل السطح للعدسة قبل وبعد الشفط الفراغي. تُظهر نتائج التجربة: قبل وبعد الشفط الفراغي، يتم خفض خطأ شكل السطح من الداخل 10 ميكرومتر إلى الداخل 7 ميكرومتر؛ الفجوة بين العدسة والأداة تتراجع إلى الداخل 9 ميكرومتر وحتى الداخل 4 ميكرومتر، مع قيمة صغرى تبلغ 0.8 ميكرومتر. يجعل شفط الفراغ يجعل شكل السطح الذي تمتصه العدسة أقرب إلى شكل الأداة، مما يؤكد فعالية طريقة تحكم شفط الفراغ في تشكيل السطح. تطرح هذه الورقة طريقة لتحسين شكل السطح للعدسة بواسطة تشكيلها بواسطة تثبيت الشفط الفراغي لتحسين دقة تجميع وتشكيل العدسات، وتقليل تأثير خطأ شكل السطح الأولي للعدسة على نظام الآلات البصرية.

关键词

تثبيت الشفط الفراغي؛ العدسات السطحية؛ عدسات التثبيت بالفتحات؛ تشكيل التثبيت؛ تحكم في الشكل

阅读全文