Deflectometric measurement technology for optical surfaces： principles， challenges， and prospects（invited）
摘要
نظرا لبساطة نظام قياسها ونطاقها الديناميكي الكبير وقدرتها على مقاومة التشويش ، فإن تقنية الانحراف لها ميزات فريدة في قياس شكل وعيوب السطح البصري المعقد. ومع ذلك ، تقع عملية قياس الانحراف في هذا المجال من التقنية إلى عوامل كثيرة وسلسلة طويلة لنقل البيانات ، مما يحد بشكل كبير من تطبيقها في الصناعة. لهذا الغرض ، يقدم هذا البحث مقدمة لمبدأ عمل وتطور تقنية الانحراف ، ويستعرض الخطوات الرئيسية للقياس ، بما في ذلك التصميم الهيكلي والمعايرة النظامية والترميز ومطابقة الصورة بالمادة وإعادة الانكسار. يتم تحليل عدة عوامل رئيسية تؤثر في دقة القياس ، بما في ذلك تبسيط نموذج الكاميرا والغموض في الارتفاع - الميل وعدم الدقة في قياس الموقع - الزاوية وعدم الوضوح في إعادة الانكسار. ثم يتم تقديم المشاهد الرئيسية لتقنية الانحراف واتجاهات التطور المستقبلية ، لمساعدة الباحثين والطلاب الخريجين في مجال القياس الدقيق على إتقان تقنيات قياس الانحراف وتحديد الطرق الرئيسية لرفع دقة قياس الانحراف وتعزيز التقدم التكنولوجي وتطوير الصناعة في مجال الهندسة الدقيقة والتصنيع المتقدم في بلادنا.
关键词
precision measurement;deflectometry;optical surface;error analysis;defect detection