استناداً إلى مبدأ الصور البصرية للتشويش التداخلي المنخفض المتماسك يمكن إعادة بناء الملموس الثلاثي الأبعاد لسطح الهيكل الدقيق بشكل فعال، ومع ذلك، في عملية قياس شكل قاع الهيكل ذو النسبة العالية للعمق والعرض قامت الضوء المستقطب بتشويش مقامز يسبب تحطم الموجة الأمامية، مما يؤدي إلى فشل القياس. يمكن الحصول على قاعدة محسوبة من خلال المحاكاة لقوانين التشويش البصري للهيكل الدقيق، لتوفير قيمة مسبقة لتصحيح وتعويض التشويش. يمكن وصف تأثير التشويش غير الخطي المعقد الناجم عن الهيكل الدقيق ذو نسبة عالية للعمق والعرض بدقة من خلال طرق المحاكاة الكهرومغناطيسية المستندة إلى الاشعاع الخطي، ولكن حجم بيانات هذه الطرق كبير وكفاءة الحساب منخفضة، يصعب إقامة نموذج محاكاة ثلاثي الأبعاد فعال. وتقدم الطريقة المقترحة حلا لهذه المشكلة، وذلك بتقديم طريقة محاكاة تشويش تجمع بين الحقل القريب والحقل البعيد لزيادة كفاءة المحاكاة. تستخدم طريقة الفرق المحدود على أساس المحاكاة الكامل للموجات الزمنية لحساب العملية الدقيقة لتشويش الهيكل الدقيق ذو النسبة العالية للعمق والعرض على حقل الضوء المستقطب، للحصول على توزيع الحقل القريب للضوء المستقطب المشوه من قبل الهيكل الدقيق، ثم من خلال طريق المعطى القيدية زاوية التكبير لتحويل توزيع الحقل القريب للضوء المستقطب إلى الحقل البعيد، لحساب تشويش الصورة. قامت النتائج المحاكاة بالتوصل إلى دقة هذه الطريقة، وفي الوقت نفسه، أظهرت نتائج المحاكاة أن هذه الطريقة المقترحة تزيد من سرعة الحساب بأكثر من ضعف تحليل مثيل.

تداخلية ميكرو متماسكة منخفضة; تشويش صورة العينة; طريقة معطى الزمنية المحدودة; الوضع المحدود لزاوية التكبير; هيكل دقيق بنسبة عالية للعمق والعرض