لتحسين كثافة الفرز الكهروني في أجهزة الشعاع الإلكتروني الفردي مثل مجموعات الشعاع الإلكتروني ، تم تطوير نظام مصدر الكترونات متعدد شوت القائم على الكاثود شوت الليزر ، ودرست طرق تصميم وعملية التصنيع لعدسة الانحياز ، واللوحة المقسمة ، والعدسة الكهروسكوبية للمصفوفة الصغيرة. تم تصميم عدسة الانحياز الكهروسكوبي على أساس خصائص جهاز كاثود شوت ، وحاكت الأداء البصري الكهروني للشعاع باستخدام التحاكي. باستخدام تقنية MEMS تم تحقيق إعداد اللوح المقسم متعدد الفتحات بمقاس 3×3 و 10×10 ، وتم تطوير نظام تجميع لأجهزة المصفوفة العديدة وتحقيق تجميع عدسة الكهروسكوب الدقيقة ؛ تم بناء منصة اختبار مصدر الكترونات متعدد الشوت وتم التحقق من أداء توجيه وتقسيم وتكثيف مصدر الكترونات متعدد الشوت. تشير النتائج إلى أن نطاق الشعاع لمصدر الكترونات متعدد الشوت هو 600 ميكرومتر ، وكثافة الشعاع داخل نطاق توجيهه هي 4.11 A / m2 ، والانتظام هو 6.06% ؛ تم تحقيق تقسيم 3×3 وقابل للتعديل ، وكان قطر بقعة الشعاع بعد التكثيف هو 5.32 ميكرومتر كمتوسط ​​، والانتظام في قطر بقعة الشعاع هو 5.91٪ ، وانتظام شدة الشعاع هو 4.36٪ ، وانتظام المسافة هو 3.06٪ ، وهو يلبي متطلبات تصميم أجهزة الشعاع الإلكتروني المتعددة.

البصريات الكهرونية ؛ مصدر الكترونات المتعدد الشوت ؛ شوت الليزر الكاثودي ؛ عدسة الانحياز الكهروسكوبية ؛ عدسة الجهد الكهروسكوبية المصفوفة الصغيرة