دراسة تقنية قياس انحراف المركز بالتداخل الخارجي الشامل

YANG Yongkang ,  

LIU Anqi ,  

ZHANG Wenxi ,  

WU Zhou ,  

摘要

لتلبية المتطلبات المتزايدة لدقة قياس انحراف مركز العدسة البصرية، يقدم هذا البحث طريقة قياس انحراف مركز العدسة البصرية بناءً على تداخل خارجي شامل للحقل. تعتمد هذه الطريقة على محور الضوء الفعلي للعدسة كمقياس للقياس، من خلال قياس الانعكاس الضوئي للعدسة المختبرة مع الشريط التداخلي المرجعي والحصول على الموجة الأمامية وتطابق Zernike polynomial، ثم تحويل معاملات الميل Zernike إلى انحراف مركز العدسة المختبرة، مما تحقق قياس دقيق لانحراف المركز ويحل مشكلة الاعتماد على منصة دوران خارجية. استنادًا إلى مبدأ التداخل الخارجي وكشف انحراف المركز، تم تحليل تأثير تقلب شدة الليزر وتقلب التردد الخارجي على نتائج قياس الموجة الأمامية وانحراف المركز، وأظهرت النتائج أن الخطأ في القياس ذو علاقة مباشرة بتقلب شدة الليزر وتقلب التردد الخارجي، ويتأثر أيضًا بانحناء العدسة المختبرة وانحراف المركز. تم إنشاء نظام قياس انحراف المركز بناءً على التداخل الخارجي وتم تحقيق قياس دقيق لانحراف المركز، وتمت مقارنته بالنتائج الافتراضية. أظهرت النتائج الافتراضية أن دقة القياس لهذا النظام لا تقل عن 0.06، وتم التحقق من النتائج الافتراضية من خلال التجربة. تظهر نتائج البحث أن طريقة قياس الانحراف بالتداخل الخارجي يمكنها تحقيق دقة قياس أعلى من طريقة الاستدارة الذاتية التقليدية لقياس انحراف المركز.

关键词

تداخل خارجي، قياس التداخل، انحراف المركز، جهاز ضبط التركيب

阅读全文