من أجل تحسين استقرارية قياس سمك الأفلام لبيانات الطيف ذات النسبة الإشارة إلى الضجيج المنخفضة، تم اقتراح طريقة قياس استنادًا إلى شبكة عصبية ذات انتباه ذاتي (SANN). نظرًا لأن الطرق التقليدية للتحويلات الفورية يمكن أن تغطي عنصر الضوضاء المكون الرئيسي للتداخل عند انخفاض نسبة الإشارة إلى الضجيج، يصعب استخراج معلومات السمك بدقة، لذا تم بناء نموذج شبكة عصبية ذات انتباه ذاتي يستخدم بيانات الطيف كمدخلات وسمك الأفلام كمخرجات، وذلك باستخدام آلية الانتباه الشخصية المتكيفة لمنح نقاط الطيف في أمواج مختلفة من الطول الموجي أوزانًا ديناميكية، من أجل تعزيز قدرة التحليل للبيانات الطيفية ذات نسبة إشارة إلى ضوضاء منخفضة. تم جمع البيانات التجريبية باستخدام نظام قياس سمك الأفلام بالتداخل البصري الطيفي ومن خلال استراتيجية تعزيز ديناميكية للإزاحة في الطول الموجي وتوحيد السطوع البصري لتوسيع مجموعة التدريب ورفع قدرة النموذج العامة. حدد هذا النظام الطبقي عدد الطبقات المحسنة للمشفر وعدد العقد الخفية، وأخيرا تم اختيار نموذج يحتوي على 8 طبقات مشفرة و128 عقدة خفية لكل طبقة. تم التحقق من ذلك باستخدام قرص السيليكون، واختبار مجموعة بيانات الطيف التي تحتوي على قيم غير معتادة، وأظهرت النتائج أن هذا النموذج يحقق أقصى خطأ قياسي نسبي في مجموعة الاختبار بنسبة إشارة إلى ضوضاء منخفضة بنسبة 3.62٪، مما يثبت أن هذه الطريقة يمكنها قمع تأثير الضوضاء وتجنب انحرافات القيم الغير معتادة الشائعة في طرق تحويل فورييه، وزيادة استقرار القياس. يمكن توسيع هذه الطريقة في تطبيقات قياس أفلام السيليكون بشكل أوسع.
关键词
قياس التداخل; سمك السيليكون; الانتخاب البصرية الطيفية; الشبكات العصبية ذات الانتباه الذاتي; القدرة المضادة للضوضاء; استقرارية القياس