لتحسين استقرار قياس سمك الأغشية لبيانات الطيف ذات نسبة إشارة إلى ضجيج منخفضة، تم اقتراح طريقة قياسية معتمدة على شبكة عصبية ذاتية الانتباه (SANN). نظرًا لأن الطرق التقليدية لتحويل فورييه عند انخفاض نسبة إشارة إلى ضجيج قد يخفي المكونات الضارة للتداخل الرئيسي، من الصعب استخلاص معلومات السِمك بدقة، لذا تم بناء نموذج شبكة عصبية ذاتية الانتباه بإدخال بيانات الطيف وإخراج سمك الأغشية واستخدام آلية انتباه مُكيِّفة لمنح أوزان ديناميكية لنقاط الطيف في الموجة المختلفة بهدف تعزيز قدرة التحليل لبيانات الطيف ذات نسبة إشارة إلى ضجيج منخفضة. تم استخدام نظام قياس سمك الأغشية بالتداخل الطيفي لجمع البيانات التجريبية، وتم تعزيز البيانات من خلال استراتيجية تعديل الموجة وتوحيد النور الديناميكية لزيادة مجموعة التدريب وتحسين قدرة النموذج على التعميم. تم تحسين النظام بناءً على عدد طبقات مُكوِّدة مع آلية انتباه ذاتي، وتم اختيار نموذج يتضمن 8 طبقات مُكوِّدة، كل طبقة تحتوي على 128 نقطة مخفية. بالنسبة للعينة المكونة من قرص السيليكون، تمت التحقق منها، وتم اختبار مجموعة البيانات الطيفية التي تحتوي على قيم غير طبيعية، وأظهرت النتائج أن هذا النموذج يحتوي على أقصى خطأ نسبي لقياس سمك الأغشية في مجموعة الاختبار ذات نسبة إشارة إلى ضجيج منخفضة هو 3.62%، مما يثبت أن هذه الطريقة يمكن أن تحول دون تأثير الضوضاء، وتجنب الانحرافات النموذجية في طريقة تحويل فورييه، مما يعزز من استقرار القياس. يمكن توسيع هذه الطريقة إلى تطبيقات قياس الأغشية الأوسع.
关键词
قياس التداخل; سمك قرص السيليكون; التداخل الطيفي; شبكة الانتباء الذاتية; القدرة على مقاومة الضجيج; استقرار القياس