تعويض زمن البقاء لحزمة أيونات الحزمة بالمليمتر على أساس تصفية المجال الترددي

BIAN Meng ,  

HU Haixiang ,  

TANG Wa ,  

JI Peng ,  

ZHANG Xuejun ,  

摘要

لتحسين قدرة إزالة الأخطاء السطحية لدوائر الحزم عند اقتراب الطول الموجي الفضائي من الحجم الخاص بها، تم إجراء تحليل وتحسين معدل التقارب في تشكيل حزمة الأيونات ذات القطر بالمليمتر وتقديم طريقة تحليل قدرة تشكيل الشكل السطحي فيض الصدفة على أساس التردد المتعدد، وذلك من خلال تحليل خصائص توزيع الكثافة المربعة المتوسطة في المجال الترددي مع معدلات التقارب في كل فترة، ونتائج تشكيل الأشكال السطحية لأمواج مختلفة، وتقييم قدرة إزالة الأخطاء في دوائر الحزم عبر تعويضات التشكيل، وتقديم طريقة لتحسين معدل التقارب عن طريق تعويضات زمن البقاء على أساس تصفية التردد، مما يرفع معدلات التقارب في الفترات القابلة للتصحيح، وتم التحقق من ذلك من خلال المحاكاة والتجربة. أظهرت النتائج التجريبية أن تشكيل فيض الصدفة يمكن أن يحقق تحليل فعال لقدرة إزالة الأخطاء في المجالات المتعددة، وأن طريقة تعويض زمن البقاء يمكن أن ترفع معدلات التقارب في الفترات القابلة للتصحيح داخل الفترة الفرعية لدائرة إزالة الأخطاء. بالنسبة للفترة الرئيسية ذات قدرة إزالة أخطاء الدائرة (0.186-0.385 مم^-1) بنص السطر والسطر، ارتفع معدل التقارب المتوسط الفعلي من 76.4% إلى 91.7%. هذه الطريقة تساعد في تحقيق تقارب موحد لأخطاء الفترة لدائرة إزالة الأخطاء عند تشكيل دائرة إزالة الأخطاء للحزمة الفردية، وهي مناسبة لتشكيل العناصر البصرية عالية الدقة.

关键词

تشكيل فائق الدقة; تشكيل الأيونات; زمن البقاء; معدل التقارب; دوائر إزالة الأخطاء لدوائر الحزم; قدرة التشكيل

阅读全文