من أجل التحكم الحتمي في أخطاء شكل العدسة أثناء عملية تصنيع مقاييس فابري-برو، تدرس هذه الورقة العلاقة بين أخطاء شكل العدسة وأداء مقاييس فابري. من خلال إنشاء نموذج نظري لتأثير أخطاء الشكل على طيف النفاذية للمقياس، يتم تحليل تأثير أخطاء الشكل على مؤشرات الأداء الرئيسية للمقياس بشكل كمي، ومن ثم تحسين العمليات ومعايير التحكم بالشكل. أظهرت الدراسة علاقة خطية جيدة بين متوسط أخطاء الشكل وموقع الذروة لطيف النفاذية للمقياس، واشتقاق نظري أظهر أن معامل حساسية انزياح الطول الموجي المركزي هو 1.65 بيكو متر لكل نانو متر. تؤثر القيم القصوى لأخطاء الشكل على اتساع عرض النطاق الطيفي للمقياس وتراجع معدل النفاذية عند الذروة، وعندما تكون القيم القصوى أقل من λ/40 (15.8 نانومتر)، يتقارب العرض ومعدل النفاذية تدريجياً. للتحقق من النموذج النظري، تم بناء نظام اختبار طيف نفاذية بمقياس دقة بيكو متر، وباستخدام اختبار فتحة مرور الضوء وتحليل كمي لأخطاء الشكل، تم توضيح أن تجانس شكل القطعة المركزية يؤثر على أداء المقياس أكثر من حافة القطعة، وتم وضع قيم حدية لأخطاء الشكل تلبي متطلبات الأداء، واعتمدت بناءً عليها تجارب تطوير المقياس. أظهرت النتائج أن عندما تكون القيم القصوى للقطعة المركزية ضمن 10 نانومتر، فإن معدل النفاذية للمقياس بقطر 30 ملم يصل إلى 98.63%، وحقق فلترة ضيقة عند طول موجي مركزي 532.199 نانومتر بعرض نطاق 32.8 بيكو متر، مما يقترب من الحد النظري. لهذه النتائج أهمية تطبيقية هامة في تصنيع مقاييس عالية الدقة ذات نسبة نفاذية عالية، عرض نطاق ضيق، واستقرار طول موجي مركزي بمقياس بيكو متر.

أخطاء الشكل;مقياس;القيم القصوى;فابري-برو