تقنية تصحيح الضغط الكهروضغطي لنظام التمركز الدقيق لماكينة نقش الشبكة المسطحة
摘要
بالنسبة لمشكلة انخفاض دقة التمركز الدقيق في عملية النقش على مشفر الشبكة المسطحة الناجمة عن خصائص التباطؤ غير الخطية لمحرك السيراميك الكهروضغطي، تم اقتراح طريقة تعويض خطأ تحكم مركبة تعتمد على نموذج براندتل-إيشلنيسكي (PI) المجزأ، لتحسين دقة التمركز وتقسيم التمركز في نقش الشبكة. تم تصميم نظام مراقبة وتصحيح أخطاء التمركز الدقيق لتقسيم الشبكة، من خلال بناء نموذج PI المجزأ لوصف السلوك غير الخطي، واستخدام طريقة المربعات الصغرى لتحديد خصائص التباطؤ لمحرك السيراميك الكهروضغطي، واستخدام النموذج العكسي كجزء للتعويض الأمامي، بالاقتران مع تحكم تغذية راجعة مغلق لتشكيل استراتيجية تحكم مركبة，实现校正 الخطأ الديناميكي. تظهر البيانات التجريبية أنه مقارنة بالفترة التي لم تستخدم فيها تعويض التغذية الأمامية للنموذج العكسي PI، انخفض خطأ تمركز خطوط النقش في الشبكة من ±20 نانومتر إلى أقل من ±10 نانومتر. يضمن توافق الأخاديد،适用于校正 خطأ تمركز تقسيم النقش في الشبكة، ويوفر دعمًا تقنيًا موثوقًا لإعداد شبكات عالية الكثافة. ستتركز الأبحاث المستقبلية على دمج وتحسين الخوارزميات الذكية لتعزيز دقة التمركز، واستكشاف التطبيقات الموسعة لهذه التقنية في نقوش الشبكة المنحنية ونقوش الشبكة ذات مسافات متغيرة.
关键词
ماكينة نقش الشبكة;نظام التمركز الدقيق;دقة التمركز;نموذج P-I;ضغط كهروضغطي