تقنية المعايرة الكهروضغطية لنظام التموضع الدقيق لجهاز نقش الشبكة المستوية
摘要
بالنظر إلى مشكلة انخفاض دقة التموضع الدقيق لجهاز نقش الشبكة المستوية أثناء عملية النقش الناتجة عن الخصائص غير الخطية للتباطؤ لمحرك السيراميكا الكهروضغطية، تم اقتراح طريقة تعويض أخطاء تحكم مركبة تعتمد على نموذج براندتل-إشلينسكي (PI) مقسم لتحسين دقة واستقرار التموضع التقسيمي للشبكة. تم تصميم نظام لمراقبة وتصحيح أخطاء التموضع الدقيق لتقسيم الشبكة، من خلال بناء نموذج PI مقسم لوصف السلوك غير الخطي، واستخدام طريقة المربعات الصغرى لتحديد خصائص التباطؤ لمحرك السيراميكا الكهروضغطية، واستخدام النموذج العكسي كحلقة تعويض تغذية أمامية، مع الجمع بين التحكم الراجع في الحلقة المغلقة لتشكيل استراتيجية تحكم مركبة لتحقيق تصحيح ديناميكي للأخطاء. أظهرت البيانات التجريبية أنه بالمقارنة مع عدم استخدام تعويض تغذية أمامية للنموذج العكسي PI، انخفض خطأ تموضع نقوش الشبكة إلى أقل من ±10 نانومتر مقارنة بـ ±20 نانومتر سابقًا. يضمن ذلك تناسق الأخاديد، ويناسب تصحيح أخطاء تقسيم التموضع لشبكات النقش، ويوفر دعمًا تقنيًا موثوقًا لإعداد الشبكات عالية الكثافة. ستتركز البحوث المستقبلية على دمج وتحسين الخوارزميات الذكية لتحسين الدقة بشكل أكبر، بالإضافة إلى استكشاف تطبيقات هذه التقنية في الشبكات المنحنية ونقش الشبكات ذات المسافات المتغيرة.
关键词
جهاز نقش الشبكة;نظام التموضع الدقيق;دقة التموضع;نموذج P-I;كهروضغطية
以上内容由讯飞翻译自动生成，翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果，本网站不承担任何商业和法律责任。
The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website