لتلبية متطلبات القيادة الدقيقة داخل أنظمة فحص الرقائق وأنظمة المجهر الإلكتروني الماسح في مجال تصنيع الإلكترونيات الدقيقة والنانوية، قدمت هذه الدراسة محركًا بيوكهربائيًا من نوع اللزوجة والانزلاق عبر مقاييس كبيرة وصغيرة ونانوية. أولاً، تم شرح تصميم هيكل الجزء المتحرك والثابت للمحرك ومبدأ تشغيله بالتفصيل، وتم تحسين أبعاد الهيكل الثابت باستخدام طريقة المحاكاة بالعناصر المحدودة. بعد ذلك، تم بناء نموذج ديناميكي للمحرك، وتحليل خصائص الخطوة الخاصة به بشكل أعمق. أظهرت نتائج المحاكاة الديناميكية أن المحرك يمتلك قدرة على التحرك بخطوات دقيقة على المستوى المجهري. في النهاية، تم تصنيع نموذج مبدأ المحرك وبناء نظام اختبار لتقييم أدائه. أظهرت نتائج الاختبار أن السرعة القصوى بدون حمل للمحرك تبلغ 20.3 مم/ث، والخطوة القصوى هي 15.82 ميكرومتر، ودقة التموضع تصل إلى 70 نانومتر، وأقصى حمل يصل إلى 2.2 نيوتن، ما يمكن المحرك من تلبية متطلبات القيادة عبر المقاييس المختلفة للحركة المستمرة ذات المسار الكبير، الحركة بخطوات بمقدار ميكرون، والتموضع عالي الدقة بمستوى نانوي. توفر هذه الدراسة أساسًا نظريًا وتجريبيًا هامًا لاستخدام محركات البيزوكهرباء من نوع اللزوجة والانزلاق في تحريك الفتحة البصرية داخل نظام المجهر الإلكتروني الماسح ومنصات فحص الرقائق.

محرك بيزوكهربائي من نوع اللزوجة والانزلاق;عبر المقاييس;التموضع الدقيق;النمذجة الديناميكية