لتلبية متطلبات القيادة الدقيقة داخل نظام فحص الشرائح في مجال تصنيع الإلكترونيات الدقيقة والنانومترية ونظام الميكروسكوب الإلكتروني الماسح البصري، قدمت هذه الدراسة محركًا فائق الأداء من نوع الالتصاق والانزلاق للقيادة الميكانيكية باستخدام بيزو كهربائي يعبر مقاييس الماكرو والميكرو والنانو. أولاً، تم شرح تصميم هيكل الدافع والساتور وكذلك مبدأ القيادة بالتفصيل، وتم تحسين أبعاد هيكل الساتور باستخدام طريقة المحاكاة بالعناصر المنتهية. ثم تم بناء نموذج ديناميكي للمحرك وتحليل خصائص الحركة خطوة بخطوة. أظهرت نتائج المحاكاة الديناميكية أن المحرك يمتلك قدرة على الحركة الخطوية المجهرية. وأخيرًا، جرى تصنيع النموذج الأولي للمحرك، وبُني نظام اختبار لتقييم أدائه الناتج. أظهرت نتائج الاختبار أن أعلى سرعة بدون حمل للمحرك هي 20.3 ملم/ث، وأقصى إزاحة خطوة 15.82 ميكرومتر، بدقة تحديد موضع تصل إلى 70 نانومتر، وحمولة قصوى قدرها 2.2 نيوتن، مما يمكنه من تحقيق الحركة المستمرة عبر مسافات كبيرة على المستوى الماكروي، والحركة الخطوية على المستوى الميكروي، والتثبيت عالي الدقة على المستوى النانوي. توفر هذه الدراسة أساسًا نظريًا وتجريبيًا هامًا لتطبيق محركات الالتصاق والانزلاق الكهروكهربائية في تشغيل فتحة المصباح داخل نظام الميكروسكوب الإلكتروني الماسح ونظام فحص الشرائح.

محرك بيزو كهربائي من نوع الالتصاق والانزلاق;عبر المقاييس;تحديد دقيق للموقع;نمذجة ديناميكية