تصميم مرآة أكسيد السيليكون مزدوجة السطح بناءً على التصنيع الإضافي والتحقق من الموثوقية

WANG Chengbin ,  

SUN Shengli ,  

SUN Xiaojin ,  

MA Xiaohao ,  

HU Kai ,  

摘要

لتحقيق هدف التصميم الخفيف الوزن والعالي الصلابة للمرآة الرئيسية والمرآة الرباعية في النظام البصري رباعي العاكس المحوري المشترك الذي يتكون من مرآة عاكسة مزدوجة السطح Φ516 مم، تم اقتراح طريقة تدمج تحسين متعدد المعلمات وتقنية التصنيع الإضافي لأكاسيد السيليكون بناءً على التصميم التقليدي الخفيف الوزن. تم إنشاء نموذج أولي للمرآة بناءً على الخبرة الهندسية، واختيار الأبعاد الهيكلية الرئيسية لبناء نموذج تحسين متعدد المعلمات، وتم تحسين المعلمات الهيكلية باستخدام خوارزمية جينية متعددة الأهداف. كانت كتلة المرآة المحسنة 6.8 كجم، بانخفاض نسبته 32.6% مقارنة بالمخطط الأولي. وأخيرًا، تم إكمال الطباعة الثلاثية الأبعاد لمرآة أكسيد السيليكون مزدوجة السطح واختبار الوضعيات الهيكلية، حيث كانت التردد الطبيعي من الدرجة الأولى 1964 هرتز. بعد التصنيع البصري لسطحي المرآة، تم إجراء اختبارات تأثير الجاذبية، واختبارات الفراغ بدرجات حرارة عالية ومنخفضة، واختبارات الاهتزاز. أظهرت النتائج أن تغير شكل سطح المرآة الأقصى قبل وبعد الاختبارات كان أقل من 0.001λ (λ=632 نانومتر). تصميم هيكل مرآة أكسيد السيليكون مزدوجة السطح وتقنية التصنيع الإضافي لهما موثوقية واستقرار جيدان.

关键词

التصنيع الإضافي; أكسيد السيليكون; مرآة مزدوجة السطح; خفة الوزن; التحقق من الموثوقية

阅读全文