تصميم و تحقق موثوقية المرآة العاكسة الثنائية من أكسيد السيليكون المعتمدة على التصنيع الإضافي

WANG Chengbin ,  

SUN Shengli ,  

SUN Xiaojin ,  

MA Xiaohao ,  

HU Kai ,  

摘要

لتحقيق هدف التصميم المتمثل في تقليل الوزن وزيادة الصلابة لمرآة عاكسة ثنائية الجانب متكاملة Φ516 مم تتكون من المرآة الرئيسية وأربع مرايا في نظام بصري رباعي محوري، تم اقتراح طريقة تجمع بين تحسين متعدد المعلمات وتقنية التصنيع الإضافي لأكسيد السيليكون، بناءً على التصميم التقليدي لتقليل الوزن. تم إنشاء نموذج أولي للمرآة استنادًا إلى الخبرة الهندسية، وتم اختيار أبعاد الهيكل الأساسية لإنشاء نموذج تحسين متعدد المعلمات، وتم تحسين معلمات الهيكل باستخدام خوارزمية وراثية متعددة الأهداف. كانت كتلة المرآة المحسنة 6.8 كجم، بانخفاض نسبته 32.6% مقارنة بالخطة الأولية. وفي النهاية، تم الانتهاء من الطباعة ثلاثية الأبعاد للمرآة الثنائية المصنوعة من أكسيد السيليكون واختبار النمط البنيوي، حيث كانت التردد الأول 1964 هرتز. بعد المعالجة البصرية للوجهين، تم إجراء اختبارات تأثير الجاذبية، واختبارات درجات الحرارة العالية والمنخفضة داخل الفراغ، واختبارات الاهتزاز. أظهرت النتائج أن أقصى تغير في دقة شكل مرآة الانعكاس قبل وبعد الاختبار كان 0.001λ (λ=632 نانومتر). تصميم هيكل المرآة الثنائية وتصنيعها الإضافي من أكسيد السيليكون يظهر موثوقية واستقرارًا جيدين.

关键词

التصنيع الإضافي; أكسيد السيليكون; المرآة العاكسة الثنائية; تقليل الوزن; التحقق من الموثوقية

阅读全文

以上内容由讯飞翻译自动生成,翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果,本网站不承担任何商业和法律责任。

The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website