تفعيل سطح كربيد السيليكون المعتمد على الألمنيوم وتحضير غشاء النيكل-الفوسفور اللامورفي

ZHANG Zhaoqian ,  

ZHOU Tianfeng ,  

WU Xunwei ,  

YU Qian ,  

ZHAO Bin ,  

摘要

أصبحت كربيد السيليكون المعتمد على الألمنيوم مادة مثالية للجيل الجديد من المرايا البصرية الفضائية بسبب معامل مرونتها العالي وميزاتها خفيفة الوزن، ولكن أكسيد الألمنيوم على السطح وعيوب واجهة الطور المتعدد تجعل من الصعب تحقيق متطلبات السطح البصري للمرايا. لتلبية متطلبات الأداء البصري لمرايا كربيد السيليكون المعتمد على الألمنيوم (بنسبة حجم SiCp 20%)، تم تحسين تقنية تحضير غشاء النيكل-الفوسفور اللامورفي على السطح، باستخدام مسار العملية "تنظيف - نقع أولي بالزنك - إزالة الزنك - نقع ثانوي بالزنك - الطلاء الكيميائي بالنيكل"، مع التركيز على حل المشكلات الأساسية مثل إزالة طبقة الأكسيد وتفعيل الواجهة وتعزيز قوة الواجهة والتحكم بسماكة الطلاء. ينتج عن النقع الأولي بالزنك على سطح كربيد السيليكون المعتمد على الألمنيوم مركبات متفتتة يمكنها إزالة طبقة أكسيد الألمنيوم جزئيًا، ولكن سمك طبقة التفعيل المتكونة ضحل وسهل التقشر. معالجة إزالة الزنك بحمض النيتريك قادرة على إزالة طبقة المركبات وكشف مادة الجسم الأساسي. بعد النقع الثانوي بالزنك يتم تحقيق التفعيل الشامل واسع النطاق، كما تغطى طبقة التفعيل سطح جزيئات كربيد السيليكون أيضًا، وقد تحسنت قوة الارتباط على الواجهة مقارنة بحالة عدم التفعيل. أظهرت نتائج التجربة الأرثوجونالية L9 أن زمن الطلاء الكيميائي له التأثير الأكبر على سماكة الطلاء، يليه زمن النقع الثانوي والثانوي الأولي. مجموعة المعاملات المثلى هي طلاء كيميائي لمدة 8 ساعات، نقع أولي بالزنك لمدة 10 ثواني، ونقع ثانوي لمدة دقيقتين، بسماكة طلاء تبلغ حوالي 50-60 ميكرومتر. من خلال التنشيط المرحلي وآلية نمو تكديس الخلايا، يعزز هذا الإجراء تعاونيًا قوة ارتباط واجهة الطلاء وكثافة المواد، مما يوفر حلاً لتعديل السطح لتلبية متطلبات الاستقرار العالي للمرايا البصرية الفضائية.

关键词

كربيد السيليكون المعتمد على الألمنيوم;المواد المركبة;تفعيل السطح;الطلاء الكيميائي بالنيكل;سماكة الطلاء

阅读全文