من أجل تحقيق التحكم الدقيق عالي الدقة في منصة التموضع الكهروإجهادية، وبالنظر إلى تأثير العوامل غير الخطية مثل التباطؤ وعدم اليقين في النموذج واضطرابات الحمل على دقة حركة منصة التموضع الكهروإجهادية، تم تصميم متحكم منزلق من الدرجة الكسرية مع مقاومة للاضطرابات الذاتية لتحقيق أداء تحكم عالي الدقة في التتبع للنظام. أولاً، تم الجمع بين نظرية الدرجة الكسرية، ونظرية المتحكم المنزلق النهائي، ونظرية مقاومة الاضطرابات الذاتية لتحقيق تقارب خطأ تتبع حالة النظام في وقت محدود. ثم، بناءً على دالة fal غير الخطية المحسنة، تم تصميم قانون اقتراب مستمر وقابل للاشتقاق لتقليل التذبذب بشكل أكبر. أخيرًا، أجريت تجربة مقارنة لتتبع المسار على منصة التموضع الكهروإجهادية، وأظهرت النتائج التجريبية أنه بالنسبة لمسار جيبي ذو سعة 10 مايكرومتر وحمل بوزن 200 جرام، كان متوسط الجذر التربيعي للخطأ للمتحكم المصمم 0.0246 مايكرومتر، مقارنة بثلاث طرق تحكم وهي PID، والمتحكم المنزلق النهائي من الدرجة الصحيحة، والتحكم المنزلق النهائي من الدرجة الصحيحة باستخدام الشبكات العصبية، حيث تحسنت دقة متوسط الجذر التربيعي للخطأ بنسبة 76.66٪، 48.00٪، و43.32٪ على التوالي. تحت إشارة مرجعية ترددها 40 هرتز، خفّض المتحكم المنزلق النهائي من الدرجة الكسرية مع مقاومة الاضطرابات الذاتية متوسط الجذر التربيعي للخطأ لمنصة التموضع الكهروإجهادية إلى 0.1869 مايكرومتر، وكان لديه أداء تتبع جيد تحت أحمال مختلفة، وقام بتقليل ظاهرة التذبذب، كما أظهر متانة قوية تجاه عدم اليقين في النموذج واضطرابات الحمل.

منصة التموضع الكهروإجهادية;درجة كسرية;التحكم المنزلق;دالة Fal;رصد الحالة الموسعة